氮化硅分級輪是一種由氮化硅磨料制成的砂輪,其顆粒大小和形狀可以根據(jù)加工要求進行分級,常用于硅片的研磨和拋光工藝中。
氮化硅分級輪產品之優(yōu)勢:
高硬度:氮化硅磨料具有很高的硬度,可達到2800-3300kg/mm2,比一般磨料高出數(shù)倍,因此能夠更好地滿足對硅片表面的高精度加工要求。
耐磨性強:氮化硅磨料的耐磨性比一般磨料更好,能夠更長時間地保持較高的磨削效率,降低了加工成本和頻率。
粒度分級:氮化硅分級輪的磨料顆粒大小和形狀可以根據(jù)加工要求進行分級,可滿足不同精度和光潔度的加工需求。
高溫穩(wěn)定性:氮化硅磨料具有較高的熱穩(wěn)定性,即在高溫下仍能保持較好的硬度和磨削效果,適用于高溫加工環(huán)境。
氮化硅分級輪性能指標:
性能 | 指標 | ||||
體積密度(g/cm3) | 3.2±0.05 | ||||
洛氏硬度(HRA) | 87-94 | ||||
彎曲強度(MPa) | ≥500 | ||||
壓縮強度(Mpa) | ≥1500 | ||||
斷裂韌性/(MPa.m1/2) | ≥6.0 | ||||
擊穿電壓/KV | ≥12 | ||||
熱膨脹系數(shù)(室溫至500℃)X10-6/℃ | 2.0≤α≤3.7 | ||||
彈性模量(GPa) | 40-310 |
陶瓷產品加工精度:
項目 | 精度數(shù)值 | ||||
尺寸精度 | 最高可到0.001mm | ||||
光潔度 | 最高可達鏡面 | ||||
同心度 | 最高可達0.003mm | ||||
平行度 | 最高可達0.002mm | ||||
內孔公差 | 最小可加工0.005mm | ||||
直槽 | 最窄可加工槽款0.1*100mm | ||||
厚度尺寸 | 最小加加工至0.08mm | ||||
螺紋 | 最小加工內螺紋M2,外螺文不限 | ||||
圓柱度 | 最高可達0.004mm | ||||
線性公差 | 最高可達0.001mm | ||||
最小孔徑 | 最小可加工0.07mm |
氮化硅分級輪應用領域:
半導體制造業(yè):氮化硅分級輪可用于硅片的平坦化、薄化和拋光,用于制備高精度的半導體器件。
光電子工業(yè):氮化硅分級輪可用于光學元件、光纖連接器等的加工和拋光,提高光學器件的精度和光潔度。
太陽能行業(yè):氮化硅分級輪可用于太陽能電池片的拋光和增光,提高太陽能電池的轉換效率。
硅晶圓行業(yè):氮化硅分級輪可用于硅晶圓的拋光和玻璃化處理,提高硅晶圓的表面質量和光潔度。