氮化硅手柄環(huán)具備致密質(zhì)、高硬度、高耐磨性的物理性質(zhì)，以及良好的耐熱性能、優(yōu)良的機(jī)械強(qiáng)度、高溫環(huán)境仍具有良好的絕緣性、良好的抗腐蝕性等物理性能，是用于制作半導(dǎo)體設(shè)備機(jī)械搬運(yùn)臂的絕佳材料。

氮化硅手柄環(huán)產(chǎn)品之優(yōu)勢：

高強(qiáng)度

高硬度大：半導(dǎo)體機(jī)械搬運(yùn)臂一般都選用高純氧化鋁，氧化鋁純度越純，強(qiáng)度越高

高致密度

耐磨性能好

耐熱性能好

機(jī)械強(qiáng)度好：硬度接近于剛玉，有自潤滑性耐磨。室溫抗彎強(qiáng)度可以高達(dá)980MPa以上，能與合金鋼相比，而且強(qiáng)度可以一直維持到1200°不下降。

電緣性能好：室溫電阻率為1015Ω·cm，絕緣強(qiáng)度為15kV/mm。

熔點(diǎn)高：熔點(diǎn)為2050℃，半導(dǎo)體進(jìn)行熱處理時，氮化硅陶瓷受熱變形也少，減少半導(dǎo)體零件在熱處理時的變形。

化學(xué)穩(wěn)定性優(yōu)良：氮化硅陶瓷的化學(xué)性能穩(wěn)定，不會在接觸物品上留下具有污染的細(xì)小顆粒和帶電的電荷，不會產(chǎn)生金屬離子，不會污染半導(dǎo)體零件。

氮化硅手柄環(huán)性能指標(biāo)：

陶瓷產(chǎn)品加工精度：

應(yīng)用領(lǐng)域：用于制作半導(dǎo)體設(shè)備機(jī)械手臂的絕佳材料。